MC-1600L MC-1601L 流量计 气体流量计 质量流量计 气体质量流量控制器 深圳大鑫达代理

MC-1600L  MC-1601L 气体质量流量控制器
    ◆    流量可覆盖2sccm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2)
    ◆    较具性价比
    ◆    模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色
    ◆    自动复零功能设置,增加工艺稳定性

    规格
    MC-1600L
    MC-1601L

    Full Scale Range (N2 Eqv)
    单气体2-5000sccm
    单气体5-50slm

    Control Valve Type 阀门类型
    常闭式螺线管

    Fitting 接头
    1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

    Seals 密封
    橡胶 Viton

    Response Time 响应时间
    到达设**±2% 所需时间≤2Sec

    Accuracy 精确性
    ≤满量程1%

    Linearity 线性度
    ≤ 满量程的±1%

    Repeatability 重复性
    ≤ 满量程的±0.5%

    Differential Pressure 压差
    7 - 40psi
    10 - 40psi

    Leak lntegrity 漏率
    Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

    Control Range 控制范围
    满量程的5-**

    Max Operating Pressure 高操作压力
    50psi

    Proof Pressure 承受压力
    较大值150psi

    Communication Type 通讯模式
    模拟0-5V

    Input Power
    输入功率
    +15VDC ±2% at 25mA
    -15VDC ±2% at 180mA

    Command Signal 控制信号
    模拟信号0-5 VDC

    Output Signal 输出模拟信号
    模拟信号0-5 VDC

    Power Consumption 功耗
    3.1W

    Temperature Range 温度范围
    5-45 Deg 

    Materials 材料
    316LSS,PTFE

    Weight 重量
    0.9kg