MC-AN600C MC-AN601C 流量计 质量流量计 气体质量流量控制器 英国WARWICK 深圳大鑫达代理

MC-AN600C MC-AN601C 气体质量流量控制器

    ◆    流量可覆盖2sccm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2)
    ◆    *特传感器设计,较高精度及性能
    ◆    易于集成-标准接头尺寸
    ◆    报警及诊断功能

    规格
    MC-AN600C    MC-AN601C
    Full Scale Range (N2 Eqv)
    单气体2-5000sccm
    单气体5-50SLM

    Control Valve Type 阀门类型
    常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

    Fitting 接头
    1/4"VCR or 1/4"Swagelok

    Seals 密封
    橡胶 Viton

    Response Time 响应时间
    到达设**±2% 所需时间≤1Sec

    Accuracy 精确性
    ≤满量程1%

    Linearity 线性度
    ≤ 满量程的±0.5%

    Repeatability 重复性
    ≤ 满量程的±0.2%

    Differential Pressure 压差
    7 - 40psi

    Leak lntegrity 漏率
    Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

    Control Range 控制范围
    满量程的2-**

    Max Operating Pressure 较高操作压力
    50psi

    Proof Pressure 承受压力
    较大值150psi

    Communication Type 通讯模式
    模拟0-5V / 4-20mA

    Input Power
    输入功率
    +15VDC ±2% at 50mA
    -15VDC ±2% at 150mA

    Command Signal 控制信号
    0-5 VDC / 4-20 mA

    Output Signal 输出模拟信号
    0-5 VDC / 4-20 mA

    Power Consumption 功耗
    3.1W

    Temperature Range 温度范围
    5-45 Deg C

    Materials 材料
    316LSS,316SS,PTFE

    Weight 重量
    0.9kg