MC-DG910C MC-DG911C流量计 质量流量计 气体质量流量控制器 英国WARWICK 深圳大鑫达代理

MC-DG910C MC-DG911C 金属密封气体质量流量控制器

    ◆    较高精度及性能,流量可覆盖2sccm-50slm(相对于N2)
    ◆    **高纯度及金属密封设计,适用于广泛的行业需求,包括腐蚀性气体
    ◆    兼容RS485和模拟通讯模式,便于操作
    ◆    多气体多量程控制可为客户大幅节省成本



    规格
    MC-DG910
    MC-DG911C

    Full Scale Range (N2 Eqv)
    单气体2-5000sccm
    单气体5-50SLM

    Control Valve Type 阀门类型
    常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

    Fitting
    接头
    1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容
    IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

    Seals 密封
    金属 Metal

    Response Time 响应时间
    ≤1Sec(**过满量程10%)

    Accuracy
    精确性
    25%-**:≤±1%S.P (满量程25%到**)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

    Linearity 线性度
    ≤ 满量程的±0.5%

    Repeatability 重复性
    ≤ 满量程的±0.2%

    Differential Pressure 压差
    7 - 40psi

    Leak lntegrity 漏率
    Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

    Control Range 控制范围
    满量程的2-**

    Max Operating Pressure 较高操作压力
    70psi

    Proof Pressure 承受压力
    较大值140psi

    Communication Type 通讯模式
    模拟0-5V / RS485

    Input Power
    输入功率
    +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA

    Command Signal控制信号
    模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-**

    Output Signal 输出模拟信号
    模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-**

    Surface Finish 表面处理
    电解法抛光和**洁净 ≤ 5Ra

    Temperature Range 温度范围
    5-45 Deg C

    Materials 材料
    316LSS,316SS,PTFE,KM45

    Weight 重量
    1.0kg
    1.2kg